TIME
光刻蚀刻加工原理与光源和蚀刻机的工作原理不完全相同。
光刻蚀刻加工原理主要是通过光学、化学和机械学的综合作用，将光学图像投射到材料表面，再通过化学反应或物理作用去除特定区域，形成所需的微细结构，在这个过程中，光源起到了关键作用，提供了进行光刻所需的特定波长的光线，光源的选择取决于所使用的光刻技术和材料类型，深紫外光（DUV）和极紫外光（EUV）常被用于先进的光刻技术中。
蚀刻机的工作原理主要是通过化学方法实现材料表面的微细加工，它将特定的化学溶液（蚀刻液）涂在材料表面，通过化学反应去除不需要的部分，完成材料的加工，在这个过程中，光源的作用主要是激活化学反应或增强反应速率，不同的蚀刻机和工艺可能需要不同的光源和化学反应过程，激光蚀刻利用高能量密度的激光束进行局部加热，实现材料的精确去除，干蚀刻和湿蚀刻等不同的蚀刻方法也会采用不同的工作原理和技术手段。
虽然光刻蚀刻加工过程中光源起到重要作用，但光刻蚀刻加工原理与蚀刻机的工作原理并不完全相同，它们之间存在差异。